金属密封气体质量流量计
Bronkhorst ®型号 F-111CM 质量流量计 (MFM) 专为满足半导体市场以及其他高纯度气体应用的要求而设计。这些仪器具有高表面质量和模块化结构,带有金属对金属密封件,可确保长期密封性。F-111CM 适用于在真空和 1500 psig (100 bar) 之间的工作压力下测量 …6 sccm 到 1…50 slm(基于 N 2 )的流量范围。
EL-FLOW ®Metal Sealed 系列配备数字印刷电路板,提供高精度、出色的温度稳定性和快速响应。主数字印刷电路板包含测量和控制所需的所有一般功能。除了标准的 RS232 输出外,仪器还提供模拟 I/O。作为一个选项,可以安装板载接口以提供 CANopen®、DeviceNet EtherCAT®、PROFIBUS DP、PROFINET、Modbus RTU、ASCII 或 TCP/IP、EtherNet/IP、POWERLINK 或 FLOW-BUS 协议。EL-FLOW ®金属密封设计具有可选的多气体/多量程功能,为 (OEM-) 客户提供的灵活性和工艺效率。
测量/控制系统 | |
---|---|
流量范围(可提供中间范围) | 分钟。0,12…6 ml n /min max. 1…50 l n /min (基于 N 2)
|
准确度(包括线性度)(基于实际校准) | ±0,5% Rd 加 ±0,1% FS |
重复性 | < 0,2 % RD |
调节比 | 1:150(模拟模式下为 1:50) |
限度。运营压力 | 1500磅/平方英寸(100 巴压力) |
多流体能力 | 存储 8条校准曲线; 可选多气体/多范围功能, 10 bar abs
|
工作温度 | -10…+70 °C |
温度敏感性 | 零 lt; % FS/°C;跨度 lt; % Rd/°C |
压力灵敏度 | < 0,1% Rd/bar 典型 N 2 ; < 0,01% Rd/bar H 2
|
泄漏完整性,舷外 | < 2 x 10 -11 3 /s 他 |
态度敏感度 | 可以安装在任何位置 |
热身时间 | 30分钟。精度 2 min 精度 ± 2% FS
|
所有评论仅代表网友意见,与本站立场无关。