三坐标测量机在测量前要对测头进行校正，因为测头有自己的尺寸，而测量零件的不同位置可能是用测头的不同位置去接触测量的，因此，测量的数据中含有测头自己的数值，而测头校正就是测量测头自己尺寸大小的过程。测头的部分因为本身精度，例如红宝石测头,直径上不可能和理论值一样,需要用标准球来得到精确直径,方便进行精确半径补偿.本身装配测头引起OFFSET的误差,也不会和理论值一样,偏移位置也需要校正,以取得红宝石中心正确的空间位置。只是触发测头主要校验上面的两个部分,如果是扫描测头,还需要有一个扫描的校验。西安爱德华测量设备股份有限公司的工程师认为，具体的三坐标测量机测头校正步骤如下:
1、确认测座安装方向与三次元测量仪坐标轴方向一致，如果拆卸了测座，要进行找正。
2、测座固定牢靠，测头、测针的安装牢靠（安装应使用工具），宝石球清洁、无破损，加长杆安装长度与测头或吸盘的负载能力协调。
3、标准球与台面(或支撑）固定牢固，各连接关节紧固。球体无损伤，表面清洁
4、软件中三坐标测座、测头、加长杆、测针设置正确（测杆长度输入正确），测头使用位置定义正确（避免使用时发现缺项，宁多无少）。标准球直径输入正确（必须是校准证书或合格证中的真实值），测头校正速度设置与测量时一致。
5、单个测头位置校正，注意观察三次元测量仪测针直径和标准偏差，三坐标测针直径应与平时校正相近且重复性好，标准偏差尽量小，（测头前加长杆长时，直径小，偏差大）
6、多个三坐标测头位置校正时，除要观察以上结果外，还要用校正后的各个三坐标测头位置测量标准球，观察球心坐标值的变化，数值应与示值误差或探测误差相近。
7、使软件得到三次元测量机测针宝石球的“等效直径”，自动进行“测头半径的补偿”。
