在检验方案中对测量精度具有较大影响且由用户决定的部分，是测量点的数量和分布。
在数学上，通过几个点即可确定一个几何元素，对于理想几何开形状，当测量点不少于较少点数、测点分布满足基本条件时，测量点数和分布对计算结果不产生影响。
对于真实工件，形状误差会使表面偏离理想替代元素表面。在测量中，当测量点的数量和分布不同时，测量结果会有变化，这是因为
三坐标测量机通过采集工件表面时上一些离散点的点坐标实现测量，以离散点对连续表面进行近似，会丢失信息。测量点的分布不同得到的信息不同，测量结果不同，随着测量点的增加，信息的丢失会减少，测量结果趋近实际情况。标准几何形状元素的较少测量点数如下：
| 标准几何形状元素 | 最少点数 |
| 点 | 1 |
| 直线 | 2 |
| 面 | 3 |
| 平面 | 3 |
| 球 | 4 |
| 圆柱 | 5 |
| 圆锥 | 6 |
| 椭圆 | 5 |
