浅谈清洁度颗粒分析显微镜的测量差异（一）

清洁度是指零部件表面，在生产和运输过程中附着的污染物异 物，污染物异物分为固体颗粒物和液态残留物。固体颗粒物，因其尺寸、数量、硬度不同，对摩擦、机械、液压、流体等系统产生功能性损 伤，严重情况下可导致产品直接报废并危及人员生命安全。

显微镜颗粒计数法的检测设备主体，是由：照相机、显微镜、自动 扫描台、电脑、分析软件组成的一台颗粒计数显微镜（或称清洁度自动分析显微镜系统）。被测颗粒物被过滤到一张通常是直径为47mm的滤膜上，自动扫描台每次移动时，显微镜视场下的滤膜都被拍摄，蕞后由软件拼接成整张滤膜图像，通过阈值对比将颗粒从背景中识别出来，通过自动偏振机构识别带金属反射的颗粒。

本文主要通过对一台颗粒计数显微镜（清洁度自动分析显微镜）的分析，阐述采用不同显微镜、摄像机、软件分析方法，导致的分析结果差异。

测量差异原因分析

1.设备自身是否准确？

设备上的摄像系统与自动扫描台的平面必须平行，且摄像系统的X 与Y轴也必须与自动扫描台的X和Y轴运行轨迹保持平行。这样才能保证 图形拼接时不出现“错位”现象。相比正常设备，检测到的颗粒总数量大幅增加，小颗粒增加，大颗粒缺失。 通常，一台显微镜在经过长时间、高频率使用之后，可能会出现以上情 况。例如：人员磕碰、搬运、意外等。

2.像素分辨力差异。

每台采用摄像系统拍摄并通过分析图像得到测量结果的设备，都会因为摄像机设计原理而在边缘产生单边1个像素的不确定性。所以，在测量颗粒长度时，会产生+/-2个像素的偏差。由此可得，像素越小、精度越 高、分析时间越久；像素尺寸越大，精度越低，分析时间越短。 因此，采用不同像素分辨力时，测量结果会产生差异。