超声波除尘，起源于美国，是一种非接触式除尘系统。早期的超声波除尘是由高压Air Blow的方式将微尘吹起，再用真空负压Vacuum将微尘吸入，结果100um以下的微尘还有较多残留，没有达到预期的效果。后又引入在除尘头中增加超声振子的方式，以产生超声气体来进行除尘，但由于超声能量不能有效到达材料表面以及噪音等原因，这种设计也逐渐被淘汰。Hugle在对流体力学充分研究的基础上，开发出了一种内部独特设计的除尘头，空气经过内部的特殊线路，层层加压，最终从出口吹出的空气已成为具有超声波的波段。
对于除尘系统的除尘效率，需要指出的是，附着于物体表面的微尘，其吸附的要因有自由落体、静电、湿气、油脂、胶粘等等，而且并非全是依靠单纯要因影响附着强度，大部分的微尘是按照复合要因附着于物体表面。有时可去除1um大小的自由落体微尘，而含有油脂成分的微尘连30um大小都去除不掉。因静电要因附着的微尘长时间存留于大气中，吸收大气中含有Na、K等各种成分的湿气，其干燥后会和接触面产生结构性吸附，而改变附着力。因此无视周遭环境和附着要因而要求除尘性能可以说是一个错误的概念。
