液体颗粒计数器在光刻胶检测中的应用
2026年03月27日 10:48:51
来源：陕西普洛帝测控技术有限公司 >> 进入该公司展台
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1、概念：光刻胶（Photoresist）又称光致抗蚀剂，是指通过紫外光、电子束、离子束、X射线等的照射或辐射，其溶解度发生变化的耐蚀剂刻薄膜材料。由感光树脂、增感剂和溶剂3种主要成分组成的对光敏感的混合液体。2、作用：光刻胶是微电子技术中微细图形加工的关键材料之一，特别是近年来大规模和超大规模集成电路的发展，更是大大促进了光刻胶的研究开发和应用。印刷工业是光刻胶应用的另一重要领域。3、现状：低端光刻胶国内企业基本能自给自足，但光刻胶基本被国外垄断，应用于7nm以下的EUV光刻胶技术国内更是处于空白，国产化道路可谓任重道远。4、检测仪器：电子级光刻胶的级别判定有线宽、金属杂质、颗粒数和大小，4个指标。其中颗粒检测用的是液体颗粒计数器。采用光散射法的原理来对光刻胶里的粒子大小和多少进行检测。通常会检测0.1um、0.2um、0.3um、0.5um这4个粒径值。普洛帝测控PMT-2 光刻胶液体颗粒计数器，可以测高粘度和低粘度的光刻胶。在光刻胶行业里有一定的应用。5、检测流程：在十级环境里（可以用十级清洁台达到十级检测环境的目的），将PMT-2 置于实验台上，取＞10mL的样量，设置5秒钟检测一次。检测3次，去除第1次检测结果，取后2次检测结果的平均值为检测结果。6、注意事项：保证PMT-2 检测的准确性。检测前，用实验用水冲洗整个进液、出液管路。检测环境达到十级，将二次污染减小到*小几率。操作人员穿戴洁净服、佩戴洁净手套、帽子、口罩。做好防护。
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