等离子清洗机的清洗过程从原理上分为两个过程
过程1为：有机物的去除首先是利用等离子的原理将气体分子激活，然后利用O，O3与有机物进行反应，达到将有机物排除的目的；
过程2为：表面的活化首先是利用等离子的原理将气体分子激活，然后利用O，O3含氧官能团的表面活化作用，来改善材料的粘着性和湿润性能。
等离子清洗一般是利用激光、微波、电晕放电、热电离、弧光放电等多种方式将气体激发成等离子状态。
在等离子清洗机应用中，主要是利用低压气体辉光等离子体。一些非聚合性无机气体（Ar2、N2、H2、O2等）在高频低压下被激发，产生含有离子、激发态分子，自由基等多种活性粒子。一般在等离子清洗中，可把活化气体分为两类，一类为惰性气体的等离子体（如Ar2、N2等）；另一类为反应性气体的等离子体（如O2、H2等）。
等离子产生的原理如下：给一组电极施以射频电压（频率约为几十兆赫兹），电极之间形成高频交变电场，区域内气体在交变电场的激荡下，产生等离子体。活性等离子对被清洗物进行表面物理轰击与化学反应双重作用，使被清洗物表面物质变成粒子和气态物质，经过抽真空排出，而达到清洗目的。
