基本结构
现代X射线荧光光谱分析仪由以下几部分组成;X射线发生器(X射线管、高压电源及稳定稳流装置)、分光检测系统（分析晶体、准直器与检测器)、记数记录系统（脉冲辐射分析器、定标计、计时器、积分器、记录器)。
应用
1.可以进行固体、粉末、薄膜、液体样品及不规则样品的无标样元素的定性定量分析。主要用于金属、无机非金属等材料中化学元素的成分分析，范围从‘Be~92 U。
我们再来看看一些关于X射线荧光光谱仪（XRF）的常见问题吧!
XRF能扫描全部元素吗?不能做全部元素扫描，因为轻质元素能量跃迁很小，不容易捕捉。情况下XRF能检测Na（第十一号元素）以后的元素。
2.XRF测元素含量时被测元素的化合价态对定量分析结果有没有影响？
XRF只能进行元素分析，而不能进行价态分析。即它的分析结果包括所有价态的元素总量。例如Cr的分析，它分辨不出材料中Cr是以金属Cr、三价铬还是六价铬的形式存在，只能给出总铬的含粒
3.X射线衍射仪与X射线荧光光谱仪的区别？
X射线衍射仪（XRD）是矿物学研究领域内的主要仪器,用于对结晶物质的定性和定量分析。
X射线荧光光谱仪（XRF）是通过测定二次荧光的能量来分辨元素的，可做定量或定性分析。
两种仪器构造与使用对象不同，XRD要复杂，XRF通常比较小。x射线荧光和x射线衍射的区别在于前者是对材料进行成份分析的仪器，而后者则主要是对材料进行微观结构分析以便确定其物理性状的设备。
