1、划痕

划痕即是样品表面上的线性凹槽，是由研磨粒子造成的。

应对措施：

1.确定在粗磨后，试样座上所有样品的表面都均匀地布满同样的 磨痕花样；必要时重新进行粗磨；

2.每一道步聚后均应仔细清洁样品和试样座，以去掉前一道工序中的大研磨粒子对磨/抛用具的干扰；

3.如果在现行的抛光工序后仍有前面工序留下的磨痕，请先增加 25~50%的制样时间。

二、变形

塑性变形（也可称为冷加工）可能导致在研磨、精研或抛光之后存在表面下缺陷。可在蚀刻之后首先看到残余的塑性变形。

应对措施：

1.变形是一种浸蚀后即刻显现的假象（化学、物理或光浸蚀）。

2.如果在明场下观察未浸蚀样品时仍可见到怀疑是变形线的形貌，请首先参看“划痕”这一节看看如何改进制样方法。

三、边缘磨圆

当使用回复性高的抛光布时，有时会同时研磨样品的表面和侧面，这种效应称为边缘磨圆。果树脂的磨损速率大于样品，则会出现这种现象。

应对措施：

磨制过程中要保护好需检验的边缘，不要因检验样品边缘而对样品边缘过度磨制产生倒角，

抛光时试样需要保护的一边朝后，不需保护的一边在前，迎着抛光盘转动的方向进行抛光，抛光时尽可能接近盘心位置，抛光时间不宜过长。

四、曳尾

当样品与抛光盘沿同一方向运动时，曳尾常发生在析出相或孔洞的周围。其典型的形状使其被称为“曳尾”。

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