干式分子泵组是真空技术中的一种高1端配置，专为要求更加洁净、无油污染的高真空/超高真空系统设计。它通常由两个核心部分组成：干式前级机械泵泵和分子泵。这种组合完1全摒弃了传统真空泵中的油或脂润滑，从大气压到超高真空全程保持系统洁净，消除碳氢化合物污染风险。

主要应用于半导体制造， 晶圆厂的核心工艺设备（刻蚀机、CVD、PVD、ALD、离子注入机）；高1端光学镀膜： 激光反射镜、天文望远镜镜片、光刻镜头镀膜；表面科学与分析；

扫描/透射电子显微镜 (SEM/TEM) 样品室和电子枪等要求严苛的科研与材料开发。

虽然初始成本高昂，但其洁净度、卓1越的真空性能、极低的维护需求和长寿命，使其在半导体、尖1端科研和分析仪器等对真空环境要求近乎苛刻的领域成为不可替代的标准配置。