1、不要使用有机化合物，酸类，腐蚀性的溶剂清洗，也不要润滑任何部位，否则会减少泵的使用寿命，使用水系的溶剂即可。

  2、操作人员应熟悉说明书，了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选择与被抽气体相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。

  3、抗腐蚀真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。

  4、抗腐蚀真空泵设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。

  5、维修时一定要断开电源，如果电机无法运转，或者其在压力下开始运转缓慢，关掉开关，断开电源。确保供给电源与铭牌上所示电源一致。检查插头，电线还有开关，看是否有老化脱落现象。如果泵过热，或者噪音过大，立即停止运转，进行维修。