高真空隔膜泵又称控制泵，是上世纪七十年代在往复式活塞泵的基础上，增加隔膜室演变而来的。是一种输送机械，是目前国内的一种泵类。它与普通泵类不同的是，它是执行器的主要类型，通过接受调制单元输出的控制信号，借助动力操作去改变流体流量，常借助的动力有空气，电动装置，液体介质等。 原理气动隔膜泵采用压缩空气为动力源，是一种由膜片往复变形造成容积变化的容积泵，其工作原理近似于柱塞泵。
气动隔膜泵其有四种材质：工程塑料、铝合金、铸铁、不锈钢。气动隔膜泵根据不同液体介质分别采用、氯丁橡胶、氟橡胶、聚四氟乙烯、聚四六乙烯。橡胶主要应用于石化及含油的液体，弹性寿命佳。温度限制：-12.2℃to+82.2℃，+10°Fto+180°F。
氯丁橡胶广泛使用于没有腐蚀性的应用。具有寿命长及低成本的特性；温度限制：-17.7℃to+93.3℃，0°Fto+200°F。
原理电动隔膜泵上的电机通过减速箱带动左右两端柱塞上面的隔膜一前一后往复运动。在左右两个泵腔内，装有上下四个单向球阀隔膜的运动，造成工作腔内的容积的改变，迫使四个单向球阀交替地开启和关闭，从而将液体不断地吸入和排出。
KNF实验室高真空隔膜泵N920G特点：
清洁，无油运行
高抽速，尤其在低真空范围下
调速控制
极其安静
耐腐蚀
免维护
