高真空隔膜泵电机的圆周运动，通过机械装置的偏心运动带动泵内部的隔膜做往复式运动，从而对固定容积的泵腔内的空气进行压缩（压缩时在排气口形成正压，抽气口关闭）、拉伸（拉伸时在抽气口形成负压，排气口关闭），在泵抽气口处与外界大气压产生压力差，在压力差的作用下，将气体压（吸）入泵腔，再从排气口排出。
高真空隔膜泵的优势：
1、由于用空气作动力，所以流量随背压（出口阻力）的变化而自动调整，适合用于中高粘度的流体。而离心泵的工作点是以水为基准设定好的，如果用于粘度稍高的流体，则需要配套减速机或变频调速器，成本就大大的提高了，对于齿轮泵也是同样如此。
2、在易燃易爆的环境中用气动泵可靠且成本低，如燃料、的输送，接地后不可能产生火花；第二、工作中无热量产生，机器不会过热；第三、流体不会过热因为隔膜泵对流体的搅动小。
3、在工地恶劣的地方，如建筑工地、工矿的
废水排放、由于污水中的杂质多且成分复杂，管路易于堵塞，这样对电泵就形成负荷过高的情况，电机发热易损。气动隔膜泵可通过颗粒且流量可调，管道堵塞时自动停止至通畅。
4、另外隔膜泵体积小易于移动，不需要地基，占地面小，安装简便经济。可作为移动式物料输送泵。
5、在有危害性、腐蚀性的物料处理中，隔膜泵可将物料与外界隔开。
6、或是一些试验中保证没有杂质污染原料。
耐腐蚀高真空隔膜泵使用了特殊的隔膜(膜片表面复合PTFE涂层)和泵头设计，包括全部接头和管路，保证与气体接触的部分均为进口PTFE材料，因此可耐大部分具有腐蚀性的气体；同时电器开关及外壳也做防蚀处理，特别是对传动机构和电路部分使用耐腐蚀材料形成密闭空间，与外界环境*隔绝，使真空泵不仅能耐腐蚀性介质，还能适用于腐蚀性环境中。
