当一定体积的气体在恒定的压力下均匀降温时，气体和气体中水分的分压保持不变，直至气体中的水分达到饱和状态，该状态下的温度就是气体的露点。通常是在气体流经的测定室中安装镜面及其附件，通过测定在单位时间内离开和返回镜面的水分子数达到动态平衡时的镜面温度来确定气体的露点。
露点仪直接给出的量值是露点温度，确切地说应为“热力学露点温度”。世界气象组织采用的定义是压力为P，混合比为r 的湿空气的热力学露点温度Td，是指在给定的压力下，湿空气被水饱和时的温度。在这个温度下，湿空气的饱和混合比rw 等于给定的混合比r。
在露点测量中，镜面污染是一个突出的问题，其影响主要表现在两个方面：一是拉乌尔效应，二是改变镜面本底散射水平。拉乌尔效应是由水溶性物质造成的。如果被测气体中携带这种物质（一般是可溶性盐类）则镜面提前结露，使测量结果产生正偏差。若污染物是不溶于水的微粒，如灰尘等，则会增加本底的散射水平，从而使光电露点仪发生零点漂移。此外，一些沸点比水低的容易冷凝的物质（例如有机物）的蒸气，不言而喻将对露点的测量产生干扰。因此，无论任何一种类型的露点仪都应防止污染镜面。一般说来，工业流程气体分析污染的影响是比较严重的。但即使是在纯气的测量中镜面的污染亦会随时间增加而积累。
尽管压缩空气的温度不会对露点值有任何影响，但它可能会对露点传感器性能产生负面作用。如果拟定测量点的空气温度过高，可选择在温度较低的下游位置，或在必要情况下使用取样系统。
密切监测和管理压力是获得高品质露点测量的关键。由于压力变动会对露点产生很大影响，为了比较露点读数，可将其调整为单一的压力值，因此了解每个测量点的压力非常重要。
