高温湿度仪具有特殊结构的湿度传感器为湿敏元件，该湿度传感器采用具有水平的稳定氧化错固体电解质材料制作而成，可用于直接测定0～250℃温度范围内环境气氛中的水蒸气分压及氧浓度。具有测试精度高，响应速度快及性能稳定可靠等特点。整机设计新颖，功能齐全，能快速方便地检测空气中的水蒸气分压及氧浓度，并具有输出接口，可连接计算机、打印机等，实现联网监控。
在计量法中规定，湿度定义为"物象状态的量"。日常生活中所指的湿度为相对湿度，用RH%表示。总言之，即气体中（通常为空气中）所含水蒸气量（水蒸气压）与其空气相同情况下饱和水蒸气量（饱和水蒸气压）的百分比。湿度很久以前就与生活存在着密切的关系，但用数量来进行表示较为困难。对湿度的表示方法有湿度、相对湿度、露点、湿气与干气的比值（重量或体积）等等。
湿度测量从原理上划分有二、三十种之多。常见的湿度测量方法有：动态法（双压法、双温法、分流法），静态法（饱和盐法、硫酸法），露点法，干湿球法和电子式传感器法。静态法中的饱和盐法，是温湿度计测量中常见的方法，简单易行。但饱和盐法对液、气两相的平衡要求很严，对环境温度的稳定要求较高。用起来要求等很长时间去平衡，低湿点要求更长。
高温湿度仪适用于测定水蒸气与空气混合气体中水蒸气分压及氧浓度，可广泛应用于木材、建材、造纸工业中的湿度及氧浓度测控；化工、制药、纤维、纺织工业领域内的湿度及氧浓度测控；烟草、蔬菜、食品加工贮藏过程的湿度及氧浓度测控，以及热电厂、锅炉尾气中的湿度及氧浓度检测等。
