何谓纯水，是水中电解质几乎全部去除，水中不溶解的胶体物质、微生物、微粒、有机物、溶解气体降至很低程度，都是经过膜过滤或混合床等终端精处理的水。我国电子工业部把工业超纯水水质技术分为五个行业标准，分别为18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以区分不同水质。

  纯水又称纯净水，是指以符合生活饮用水卫生标准的水为原水，通过电渗析器法、离子交换器法、反渗透法、蒸馏法及其他适当的加工方法，制得的密封于容器内，且不含任何添加物，无色透明，可直接饮用的水。市场上出售的太空水，蒸馏水均属纯净水。

  超纯水是在纯水的基础上进一步将水中的导电介质几乎去除，又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水。电阻率大于18MΩ*cm，或接近18.25MΩ*cm极限值。超纯水是一般工艺很难达到的程度，可以将微滤技术、超滤技术、反渗透技术、EDI技术，离子交换技术中的两种及以上的技术，通过合理的工艺设计，设备选型，方可制造出超纯水，电阻率可达18.20MΩ*cm。

在水质要求达10MΩ.cm以上，通常采用不同的工艺进行组合搭配的方法来制取，例如采用反渗透加去离子，反渗透加EDI等。

  传统的超纯水设备设备是电渗析、离子交换器（阳床、阴床、复床、混床）。新型超纯水制备设备是EDI（连续电除盐技术）设备。EDI是将电渗析技术和离子交换技术有机结合形成的一种新型除盐技术。可以有效的去除水中几乎全部的阴阳离子，出水电阻率可稳定在15MΩ.CM以上，连续运行、无化学污染、水的利用率高，在超纯水制备工艺上有着强大的优势广阔的应用前景。

  其中，RO反渗透技术是一种利用膜分离去除水中离子的方法，尽管反渗透系统将水中 95%-98% 的离子去除，但还不能满足部分工业生产的要求，其后续工艺必须使用离子交换设备。近几十年以来，混合床离子交换技术一直作为纯水制备的标准工艺。由于其需要周期性的再生且再生过程中使用大量的化学药品（酸、碱）和纯水，因此已很难满足于无酸碱纯水系统。

  将反渗透膜和树脂结合的 EDI 技术成为水处理技术的一场革命，解决了传统的离子交换越来越无法满足现代工业和环保的难题。EDI技术应用电再生离子交换除盐工艺取代传统混合离子交换除盐工艺DI 。通过离子交换树脂及选择性离子膜达到高脱盐效果，与反渗透结合的联合工艺使产水水质可达 电阻10~17M Ω· CM 的高规格产水。