臭氧浓度检测的方法大致可分为化学分析法和仪器法两大类。
化学分析法中常用的是法，硼酸吸光光度法和靛蓝二磺酸钠分光光度法。前两种方法因对臭氧的专属性不好或稳定性较差，在现场使用中均受到某些限制，而靛蓝二磺酸钠分光光度法因灵敏度高，对臭氧的专用性强，无需标准即可用于O3的定量测量，所以在1996年国家颁布的空气质量标准GB3095-1996中，用该法代替原标准中的硼酸碘化法作为化学检测O3的标准。
仪器法检测臭氧的优点在于灵敏度高，重复性好，对操作者水平要求也不高，是一种较好的方法，但是因为此类仪器原来一般价格昂贵，不易普及使用。
检测臭氧浓度的原理是采用化学发光法、紫外线吸收法和电化学法。因化学发光法须配用乙烯气瓶，乙烯又是可燃物，既危险又不方便，所以近年来国际上常用的是紫外线吸收法和电化学法。
紫外线吸收法的原理是基于O3对波长254nm的紫外光的吸收，根据比尔一朗的定律可以算出O3的浓度，这种方法结构简单、灵敏度高、响应快，在0-10000ppm浓度范围内具有良好的线性，且零点漂移和量程漂移都很小。
电化学法是被测臭氧气体以扩散方式和仪器接触。并发生反应。输出稳定的电信号。气体浓度值可以稳定地用数据显示在显示屏上。
