位置精度
定位精度
从某一基准点开始，在全行程范围内，按一定间隔，单方向依次定位。求出不同定位点的实际测量值和目标值的差，定义其值和最小值的差为定位精度。
空行程
在平台的任意位置（两端或中心等），从正方向及负方向进行多次定位，求出各点停止位置的偏差值的平均值。定义其中的值为空行程。
重复定位精度
在平台的任意位置（两端或中心等），从相同方向进行多次定位，求出停止位置的偏差值的值。定义其数值中的值为重复定位精度。
传动副间隙
在平台的任意位置（两边·中心等），向正方向或负方向加载一定推力，我们定义其2个方向的偏移量的总和为传动副间隙。
动作精度
运动平行度
我们定义平台在全行程范围运动时，台面在高度方向的偏移量为运动平行度。
XY垂直度
以XY轴平台的X轴为基准，这时用直角尺测量Y轴方向在动作中的位移量。这个偏移量杯定义为XY垂直度。
Z轴垂直度
在Z轴平台上设置千分表，并测量与某一基准垂直台间的相对偏移量。我们定义这个偏移量为Z轴垂直度。
（参考值）测量结果 (OSMS20-35)
结果
重复定位精度
单向定位精度 ↑
↓
双向定位精度
0.77µm
0.62µm
1.56µm
扭矩刚度（俯仰·偏摆·转动）
扭矩刚度表征在偏离台面中心的位置上施加某一载荷时的平台倾斜程度。
（台面中心和工件重心不一致。）
我们定义在距离台面中心1cm的位置上加载1N的负载时而引起的台面的倾斜角度（单位：秒）为扭矩刚度。
姿态精度
俯仰
平台在移动过程中，在俯仰方向的台面的角度变化量。
我们定义其在全行程动作过程中的角度变化量为俯仰精度。
平行度
我们定义在固定不动时的平台台面与固定用基准面的平行程度为平行度。
偏摆
平台在移动过程中，在偏摆方向的台面的角度变化量。
我们定义其在全行程动作过程中的角度变化量为偏摆精度。
（参考）XY轴平台的精度测量
