| 分 类 | 测量项目 | 使用仪器 | 标 准 |
| 直线运动平台 | 定位精度 | 动态校准仪
(HP5529A) | JIS B 6190 |
| 重复定位精度 |
| 空行程 |
| 运动平行度 | 千分表 | 社内标准 |
| 俯仰·偏摆 | 自动准直仪 | 社内标准 |
所谓测量值或指示值满足规定的技术指标，一定要以相应的国际标准为基准，即要保证测量精度的可追溯性。在日本工业标准（JIS）里，将这种精度的可追溯性定义为“标准器或测量s仪依据更高等级的标准逐级校正，并与国家基准相衔接。”
| 分 类 | 测量项目 | 使用仪器 | 标 准 |
| 转动平台 | 重复定位精度 | 角编码器 | 社内标准 |
| 空行程 |
| 台面跳动精度 | 千分表 | 社内标准 |
| 摆动平台 | 重复定位精度 | 角编码器 | 社内标准 |
| 空行程 |
| 摆动中心高度 | 3坐标测量仪 | 社内标准 |
| 摆动中心偏转精度 |
平台组合后的精度确认
本公司原则上仅进行自动平台的单轴精度的确认。关于希望确认多轴组合后的精度，请与总公司营业部联系。
在客户现场的精度确认
本公司不承担在客户现场的精度确认。如果有必要的话，请客户自行委托第3方有资格的公共机构进行。
如有不明之处，请与总公司营业部联系。
技术指标的定义
机械技术指标
精度技术指标
详细请参考样本中的有关部分。
9
分辨率（整步）
（半步）
整步驱动方式时，对应每个脉冲的理论移动量
半步驱动方式时，对应每个脉冲的理论移动量
11
定位精度
通常表示在某定位点的位置实际测量值与目标值的差异。
12
重复定位精度
通常表示从同一方向多次定位时，其实际停止位置的偏离范围。
14
扭矩刚度
俯仰
偏摆
转动
是指在偏离台面中心的位置上施加载荷时（即台面中心和载荷中心不一致。）的平台的刚度。通常是指，距离台面中心1cm的位置上加载1N的负载时，台面发生的倾斜角度（单位：秒）。
从起点到终点的整个行程范围内，相对于运动方向的前后方向上的刚性。
从起点到终点的整个行程范围内，相对于运动方向的左右方向上的刚性。
从起点到终点的整个行程范围内，绕运动轴方向的旋转刚性。
15
空行程
通常指在正方向和负方向分别定位，其停止位置的偏差范围。
16
传动副间隙
在平台的某位置，向正方向和负方向分别加载一定推力时，在2个方向上发生的偏移范围。
17
平行度
表示在平台台面固定不动时，上台面与设置基准面之间的平行状态。
* 请注意这个指标和「运动平行度」是不同的两个概念。
18
运动平行度
在整个行程范围内，在平台运动过程中，上台面在上下方向的偏移范围。
19
XY垂直度
在XY轴平台，Y轴在运动时的相对于X轴的角度偏移范围。
20
Z轴垂直度
表示在整个行程范围内，Z轴平台在其运动过程中，与垂直基准面之间的偏移范围。
21
俯仰
偏摆
全行程内，相对于运动方向的前后方向倾斜的角度偏移范围。
全行程内，相对于运动方向的左右方向的倾斜的角度偏移范围。
传感器
电机技术指标
传感器技术指标
29
30
31
32
电源电压
消耗电流
输出端电气特性
信号的含义
表示传感器的输出的电气信号的技术指标。
推荐选用的驱动器／控制器型号
