半导体用高浓度臭氧发生器品牌有哪些

高浓度臭氧发生器臭氧浓度超过10%w国内的很少，主要是进口品牌，如加拿大Absolute Ozone、ozonia、wedeco、Primozone、TAPI等，但相对来说加拿大Absolute Ozone体格小、浓度高、价格低，其他几款体格比较大，价格高。

下面详细介绍一下加拿大Absolute Ozone

加拿大Absolute Ozone分为四个型号。AbsoluteOzone®NANO、ATLAS 30-80、TITAN 30-100、MAGNUM 160-200。特别推荐的是 ATLAS 30-UHC，这个浓度可高达22%.

1、AbsoluteOzone®NANO

许多臭氧发生器生产的臭氧浓度为3％，几乎达不到溶解的臭氧总量的30％，并且浪费了大量的氧气，NANO可溶解多达70％的臭氧，同时使用极少的氧气（4slpm），可将溶解的臭氧量增加一倍，紧凑的NANO臭氧发生器替换两台昂贵的低效笨重的臭氧发生器。

臭氧产量：15克/小时

浓度（O3重量百分比）：5 -10％

气体流量：0.1-4 slpm

2、AbsoluteOzone®ATLAS 30

ATLAS不仅是性能部门的主导力量，而且比以往任何时候都更具功能性和直观性。ATLAS内部的每个组件均经过精心设计，以充分利用令人印象深刻的优雅紧凑型外壳。

臭氧产生量：高达3.0 ppd（​​58 g / h）

标称工作压力：20 psig

浓度（O3重量百分比）：5 -12％，

Atlas 30°C可达16％wt。

Atlas 30 UHC高达22％wt。

气体流量：0.1-4 slpm

Atlas 30 UHC浓度表如下

3、AbsoluteOzone®TITAN 30

由于采用了的优雅设计，利用微流体平台技术和出色的耐用性，所有风冷的AbsoluteOzone®发生器都能可靠地提供超纯，高浓度的臭氧，适用于各种特殊应用。该性能在业界，具有可靠地生产高达16％重量百分比的高浓度臭氧的能力。

臭氧产量：1.6 ppd（​​30克/小时）

臭氧产生量：高达3.0 ppd（​​58 g / h）

标称工作压力：20 psig

浓度（O3重量百分比）：5 -12％

气体流量：0.1-10 slpm

4、AbsoluteOzone®MAGNUM 160

由于采用了的优雅设计，利用微流体平台技术和出色的耐用性，所有风冷的AbsoluteOzone®发生器都能可靠地提供超纯，高浓度的臭氧，适用于各种特殊应用。该性能在业界，具有可靠地生产高达22％重量的高浓度臭氧的能力。

臭氧产量：8.5 ppd（​​160 g / h）

臭氧生产量：高达9.5 ppd（​​180 g / h）

标准工作压力：40 psig

浓度（O3重量百分比）：5 -12％

气体流量：0.1-50 slpm

具体选择哪个型号，需要根据您的应用来确定，欢迎联系我们！