入射狭缝的故障之前已经提及，下边对于直读光谱仪入射光路的故障实现叙述。

　　(1)光路无静态氩气保护。光路是封闭的非真空状态，必须使用静态氩保护才能确保紫外线200nm以下元素的准确分析。有时光路的静态氩气气路被阻或掉下，引起光路无静态氩。此外调节静态氩的气阀出现故障会出现这种现象。光谱仪启动使用中，要确保氩气打开20min以上才能进行狭缝扫描和工作曲线校准。由于时间太短了会导致光路静态氩还达不到饱和而引起200nm以下元素光照强度值逐渐增加的情况。原先校准的工作曲线会导致碳、磷、硫等元素含量偏高。

　　(2)直读光谱仪左、右样品架的人射窗口被污染，使分析数据比较严重偏低。石英窗务必常常进行清洁，常见5%的盐酸或酒精进行清洁。清洗之元素的光照强度值会显著增加。安装时要注意石英窗的密封，避免氩气泄漏。

　　(3)系统运行正常，高压供电正常，分析数据为“0”。这类故障出现在了Hg灯反射针或右架反射镜的电感线圈部位不对时。左架曝光时，Hg反射镜并没有退出光路，左架激发光不能进入人射光路被Hg反射镜挡住。在右架激发时，曝光阶段右架反射镜没进光路，使激发光不能反射到人射光路。解决方案：

　　1)再次安装反射镜动作电感线圈推动部位。

　　2)直读光谱仪查验反射镜动作控制信号。

　　3)查验右架反射镜是否掉下来了。

　　(4)同一试品左、右架激发的直读光谱仪光照强度值不同。引起这样的事情要调整右架反射镜的反射偏转角。