X射线荧光光谱仪可以解析化学元素表中的大多数原素，具体来说，从钠元素到铀元素都能够使用这些技术应用开展检测分析。但是对质量数较低的原素，气体会对检验效果出现很大的影响；由低质量数原素出现的荧光值通常更低，而且试品基体中的其他原素有可能会吸取低质量数原素的动能辐射。

　　X射线荧光光谱仪关键由下列几部份构成：

　　（1）激起系统：关键构件为X射线管，可以产生原级X射线，用以直射试品激起荧光X射线；

　　（2）分光系统：对来源于试品被测原素产生的特点荧光X射线开展辨别；

　　（3）探测仪：对试品被测原素的特点荧光X射线开展抗压强度探测；

　　（4）仪器控制和数据处理系统：解决探测仪数据信号，得出解析效果。

　　X射线荧光光谱仪的测试流程：

　　（1）选取统计分析方法与制样方法。统计分析方法通常有主要参数法、半主要参数法、经验系数法等，制样方法通常有抛光法、压片法、滤纸片法和熔片法，常见粉末压片法制样，采用主要参数法测试。

　　（2）将配制好的样照放进试品杯，放进试品交换器中，自动进样至试品室，X射线管产生原级X射线直射试品，激起出待测原素的荧光X射线。

　　（3）试品辐射出的荧光X射线利用分光晶体，将X射线荧光光谱散射成孤立的单色分析线，由探测仪检测各谱线的抗压强度，依据采用的统计分析方法换算成原素浓度值，取得试品中被测原素成分。