等离子体清洗的原理与超声波不同，当舱内接近真空时，打开射频电源，此时气体分子电离，产生等离子体，伴随辉光放电现象，等离子体在电场作用下加速，从而在电场作用下高速运动，对物体表面造成物理碰撞。等离子体的能量足以去除各种污染物，氧离子可以将有机污染物氧化成二氧化碳和水蒸气排出舱外。
等离子清洗不需要其他原料，只需空气即可满足要求，使用方便无污染，
同时，它比超声波清洗更多的优势在于，等离子体不仅可以清洗表面，更重要的是可以提高表面活性，等离子体与物体表面的化学反应可以产生活性化学基团，这些化学基团活性高，应用范围广，如提高材料表面的粘附能力，提高焊接能力、结合能力、亲水性等诸多方面，因此等离子体清洗成为清洗行业的主流和趋势。
