干式真空泵在国内的半导体行业的使用

半导体材料商品制作全过程中常需的真空系统，必须具有抽除腐蚀汽体、烟尘细颗粒物、有害气体等作用，因而骨架密封式真空泵不能满足半导体产业的必须。

而日本坚山KASHIYAMA工业株式会社，多年来致力于真空技术的研究，不断开发进取，在半导体制造领域和高科技行业中拥有的信誉。尤其在半导体制造领域，获得了客户的高度评价与信赖。

KASHIYAMA工业的干式真空泵系列已经成为半导体制造业与液晶显示制造行业的标准设备。

干式真空泵系列产品：NeoDry30E、NeoDry7E、NeoDry15E、NeoDry36E、NeoDry300E、NeoDry100E‍。更多详细资料，可联系上海尔迪仪器科技有限公司，电话！！

受半导体产业的推动，干式真空泵于上世纪 80 时代发生，获益于中下游集成电路、太阳能发电、LED 等领域的不断发展趋势发展，干式真空泵的产品种类持续提升，特性、操纵处理速度等指标值主要参数明显改进。

目前为止，资本主义国家的半导体材料有关产业已所有应用干式真空泵，在我国近些年也出现非常明显的干式真空泵取代汽油泵的发展趋势，中国的高档半导体业已基本上应用干式真空泵。

除半导体产业之外，制药业、化工厂、食品企业对机械泵的需求量很大，过去应用骨架密封式真空泵会造成油环境污染。近些年我国对生态环境保护十分重视，因为干式真空泵可以明显降低油环境污染，且应用干式真空泵可完成溶酶回收利用提升使用率，因而制药业、化工厂、食品类等领域对干式真空泵造成了很多增加及其取代原来总量骨架密封式真空泵的要求。

1、干式真空泵领域市场规模

2019年干式真空泵市场规模为60 亿美金，预估 2020-2026年干式真空泵市场规模的年年复合增长率为5.5%。干式真空泵市场规模提高的关键推动要素来自于生物制药，制药企业运用干式真空泵在药物、化工中间体、原材料的生产流程中维持合适的反映自然环境，及其用以持续上升的新药研究主题活动。亚洲地区是干式真空泵销售市场增长速度较快的地区，关键推动要素是稳步增长的半导体材料和电子器件产业发展趋势。

（1）集成电路行业干式真空泵市场规模

干式真空泵是半导体材料各制造中的通用机械，运用于单晶体拉晶、Load-Lock、离子注入、CVD、分子层堆积（ALD）、封裝、检测等清理或苛刻制造。获益于近些年集成电路产业的持续增长，干式真空泵产业也维持着不断平稳的未来发展趋势。以 12 英尺圆晶生产流水线为例子，每 3.5 万片/月生产能力必须约 2,000 台机械泵。2019 年圆晶在运生产能力折算12 英尺约 869 万片/月，假定总量干式真空泵每一年拆换20%（晶圆制造公司对干式真空泵的使用寿命一般为 5 年），按每台干式真空泵平均价 10 万余元估计，2019 年集成电路行业干式真空泵总量更换市场规模约 100 亿人民币。

（2）太阳能发电行业干式真空泵市场规模

干式真空泵是太阳能发电产业的晶体材料和硅片生产制造的必需机器设备。2019 本年度中国内地硅片生产能力 173.7GW，晶体材料和硅片生产制造每 GW 必须约 200 台干式真空泵。依据隆基股份、中环股份、晶澳、晶科能源等光伏产品生产商的公示，预估 2020 年-2022 年每一年将增加硅片生产能力约 50GW，亦即每一年因增加硅片生产能力提升干式真空泵市场的需求约 7亿人民币。综上所述，预估以后两年太阳能发电产业对干式真空泵的市场前景为每一年 12-15 亿人民币。

（3）干式真空泵在别的产业运用状况

除集成电路和太阳能发电产业外，干式真空泵做为通用机械，因为其具有较好的清洁真空泵特点和稳定性，因而是 LED 产业的外延片生长发育和芯片制造、平板显示器产业 PVD 等加工工艺阶段真空得到的首要机器设备。除此之外，干式真空泵在锂电烘干处理工艺流程，及其制药业、化工厂等产业中都有比较普遍的运用。