在三坐标测量仪的测量使用中，三次元的软件系统发挥了重要的作用，它是三坐标获得精准测量的关键。如何根据自己的情况选择合适的三次元测量仪软件，也是至关重要的。
软件程序还具有统计过程分析和控制功能。对于薄壁件测量的应用软件简化了包含台阶边缘、通过螺帽和螺栓连接的工件的定位与测量。功能完备的轮廓测量使得三坐标测量仪能够快速、准确地确定复杂的、非几何形状的、没有直边的工件，如涡轮叶片、螺旋压缩器转子、齿轮、活塞、凸轮和曲轴。
软量规工作包能够图形化地构造量规，通过数学的方法插入零件的特征，从而校正几何尺寸。一些程序提供了这样的模块，用来测量非规则形状的零件，如薄壁件和塑料装配件，挡风玻璃和排气装置。这样就减少了对于昂贵固定量仪的需要。其他的模块可执行2-D和3-D化流程，并可完成轮廓比较。
数据传输标准是由行业渐渐发展起来并得到广泛接受，如尺寸测量接口标准(DMIS)，是用来完成从YDD系统到测量机的通讯的;初始化图形交换标准(IGES)是为了完成从YDD系统到YDD系统的数据交换。这样的功能，使得三次元测量仪能够用在逆向工程等场合下。这时，产品的数据来自于模块或部分零件的测量中。数据的传输还能够直接从YDD数据开发测量程序，在合适的情况下，甚至是脱机进行，从而减轻了生产中三次元测量机的负担。
挑选合适的软件包是从测量机获益的关键的因素，当你确定一台三次元测量仪是你所需，三坐标测量仪制造商会建议合适的软件满足机器和应用，你应该听从这些推荐。只有合适的三坐标测量仪的软件，才是三次元使用着的选择。
