对燃烧直接产生的一次颗粒物可以分为细颗粒物和粗颗粒物，粗颗粒物通常由各种碎裂过程直接产生的直径大于6µm的粒子，而颗粒物主要通过汽化-凝结机理形成的。在燃烧过程中煤中的非主量元素会从焦炭颗粒内汽化，汽化的元素在炉膛内发生一系列化学动力学过程，形态也随之发生变化，随着温度的降低，一部分气相组分会发生均相成核，同时另一部分凝结到周围已存在的颗粒上，颗粒之间的碰撞引起凝聚生长成更大的颗粒，而处于粗颗粒模式的主要是矿物质。

可吸入颗粒物的形成主要有两个途径：其一，各种工业过程（燃煤、冶金、化工、内燃机等）直接排放的超细颗粒物；其二，大气中二次形成的超细颗粒物与气溶胶等。其中，种途径是可吸入颗粒物的主要形成源，也是可吸入颗粒物污染控制的重要对象。