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真空碳管炉的介绍

2023年04月15日 13:14:41      来源:东莞燕园半导体科技有限公司 >> 进入该公司展台      阅读量:21

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真空碳管炉为立式结构,采用双层水冷炉壳内层不锈钢严格抛光,外层碳钢防锈处理。炉盖上没有观察窗和挡板,炉盖打开为手动方式。炉体上设有观察窗、自动进出热电偶、超温保护热电偶和红外测温仪。炉侧设有水冷电极,发热体选用上等石墨,保温层为碳毡和石墨复合结构。


真空碳管炉真空系统采用油扩散泵、机械泵、机械泵上设有电磁阀,高、低真空阀为气动挡板阀,配合数显复合真空计和PLC实现高、低真空自动切换。电控系统主回路为低电压大电流输入,控制柜体西门子标准制作。进口数显程序控制仪完成升温和降温过程自动控制,控制本面板上设有图形模拟屏,人性化设计,操作直观简单,控制回路具有断水、超温、过流等声光报警和自动保护功能。


真空碳管炉它是由K-200油扩散泵、2X-30机械泵以及真空阀等组成,真空阀门为气动挡板阀及气动蝶阀,可通过PLC控制实现高、低真空自动切换。真空测量粗真空由园形弹簧真空计测量,低真空由热偶真空计,高真空由电离真空计测量。调压控制柜上可控硅调压装置由旋动手动调节,也可自动控制, 380V两相电源经过降压变压器,电压降到33V,然后经过电缆再送到电极上。温度控制由进口程序控温仪控制等。设备配有模拟屏,能显示当前系统工作状态。冷却水由总管进入,经过各支管送到炉壳、炉盖、炉底、电极、扩散泵和机械泵等需要冷却的地方,然后汇总到水箱排出。每路冷却水都有手动阀门,可以按照需要调节流量大小。进水管上设有电接点压力表,当水压低于0.1MPa时,可自动切断加热器。


 

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