在17世纪，人们发现把两块凸透镜组合起来，能明显的提高放大能力，这种装置就是显微镜的前身。架真正的显微镜，是用一片凸透镜和一片凹透镜重叠起来组合而成，又称为复式显微镜，是荷兰眼镜匠詹森父子制成的，后来经意大利天文学家伽利略加以改良，显微镜才有了更佳的效果。 最初的显微镜很简单，只能放大50-200倍，以后又不断改进，逐渐发展。光学显微镜可以把物体放大到1500倍左右，能够观察到细菌的形状。

　　1932 年，德国科学家诺尔和鲁斯卡在柏林制成了一台电子显微镜。电子显微镜用电子束代替光束，用磁场代替透镜来观察细微物体。电子显微镜一下子把放大倍数提高到1万倍。到20世纪90年代，世界上已经研制出放大率200万倍的电子显微镜，人们利用它看到了物质的内部的精细结构。看见所有物质都是由一些肉眼看不见的极小极小的微粒组成的，发现了原子世界。

　　1983年，人们发明了扫描隧道显微镜。这种显微镜比电子显微镜更*。自从扫描隧道显微镜发明后，世界上便诞生了一门以0.1纳米至100纳米这样的尺度为研究对象的新学科，这就是纳米科技。

　　目前,工业上常用的的显微镜根据功能和用途又可以分为下几类:

　　1)测量显微镜:微电子及精细加工业;采用透、反射的方式对工件长度和角度作精密测量。特别适用于电子行业,机械精加工。用来测量电子线路的宽度和精细小工件的几何尺寸,以及其它精密零件测。增强型测量显微镜广泛地适用于计量室,生产作业线以及科学研究等部门。

　　2)体视显微镜:主要用于现场检查,PCB,液晶等行业用的比较多;又称"实体显微镜""立体显微镜",是一种具有正像立体感地目视仪器,被广泛地应用于生物学、医学、农林、工业及海洋生物各部门。

　　3)金相显微镜:材料分析等,钢铁及金加工行业要求;主要用于鉴定和分析金属内部结构组织,它是金属学研究金相的重要仪器,是工业部门鉴定产品质量的关键设备,该仪器配用摄像装置,可摄取金相图谱,并对图谱进行测量分析,对图象进行编辑、输出、存储、管理等功能。