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扫描电子显微镜 (SEM) 的部件

2022年12月28日 16:13:06      来源:北京创诚致佳科技有限公司 >> 进入该公司展台      阅读量:8

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扫描电子显微镜的主要部件包括:

  • 电子源——这是在 1-40kV 电压下热产生电子的地方。电子凝聚成用于创建图像和分析的光束。可以使用三种类型的电子源 i。e 钨丝、六硼化镧和场发射枪 (FEG)

  • 透镜——它有几个聚光透镜,将来自源的电子束聚焦通过柱子,形成一个狭窄的电子束,形成一个称为点大小的点。

  • 扫描线圈——它们用于在样品表面上偏转光束。

  • 探测器——它由几个能够区分二次电子、背散射电子和衍射背散射电子的探测器组成。检测器的功能很大程度上取决于电压速度、样品的密度。

  • 显示设备(数据输出设备)

  • 电源供应

  • 真空系统

与透射电子显微镜一样,扫描电子显微镜应该没有振动和任何电磁元素。

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