2022年12月28日 16:13:06 来源:北京创诚致佳科技有限公司 >> 进入该公司展台 阅读量:8
扫描电子显微镜的主要部件包括:
电子源——这是在 1-40kV 电压下热产生电子的地方。电子凝聚成用于创建图像和分析的光束。可以使用三种类型的电子源 i。e 钨丝、六硼化镧和场发射枪 (FEG)
透镜——它有几个聚光透镜,将来自源的电子束聚焦通过柱子,形成一个狭窄的电子束,形成一个称为点大小的点。
扫描线圈——它们用于在样品表面上偏转光束。
探测器——它由几个能够区分二次电子、背散射电子和衍射背散射电子的探测器组成。检测器的功能很大程度上取决于电压速度、样品的密度。
显示设备(数据输出设备)
电源供应
真空系统
与透射电子显微镜一样,扫描电子显微镜应该没有振动和任何电磁元素。