FS1015CL系列气体质量流量传感器（FS1015CL-100/150气体质量流量传感器）
FS1015CL系列气体质量流量传感器是为各类医学用气体的测量和过程控制而设计的。产品采用本公司研发的微机电系统（MEMS）流量传感芯片来制作，适用于各类清洁气体。成本低、易安装、不需要温度压力补偿，可替代容积式或压差式的传统流量计。测量范围到150SLPM，ISO15mm连接方式适用于等多种医疗设备。
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FS1015CL系列气体质量流量传感器（FS1015CL-100/150气体质量流量传感器）
FS1015CL系列气体质量流量传感器是为各类医学用气体的测量和过程控制而设计的。产品采用本公司研发的微机电系统（MEMS）流量传感芯片来制作，适用于各类清洁气体。成本低、易安装、不需要温度压力补偿，可替代容积式或压差式的传统流量计。测量范围到150SLPM，ISO15mm连接方式适用于等多种医疗设备。
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