快速退火炉现货
应用领域:
1.快速热处理(RTP),快速退火(RTA),快速热氧化(RTO),快速热氮化(RTN);
2.离子注入/接触退火;
3.金属合金;
4.热氧化处理;
5.化合物合金(砷化镓、氮化物等);
6.多晶硅退火;
7.太阳能电池片退火;
8.高温退火;
9.高温扩散。
快速退火炉现货主要由真空腔室、加热室、进气系统、真空系统、温度控制系统、气冷系统、水冷系统等几部分组成。
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简要描述:快速退火炉现货是利用卤素红外灯做为热源,通过极快的升温速率,从而消除晶圆或者材料内部的一些缺陷,改善产品性能。
快速退火炉现货
应用领域:
1.快速热处理(RTP),快速退火(RTA),快速热氧化(RTO),快速热氮化(RTN);
2.离子注入/接触退火;
3.金属合金;
4.热氧化处理;
5.化合物合金(砷化镓、氮化物等);
6.多晶硅退火;
7.太阳能电池片退火;
8.高温退火;
9.高温扩散。
快速退火炉现货主要由真空腔室、加热室、进气系统、真空系统、温度控制系统、气冷系统、水冷系统等几部分组成。
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