813-5变容式MEMS加速度传感器是一款用来测量静态加速度和低频振动的高灵敏 度变容式加速度传感器，其特点是采用变容式MEMS硅晶片为敏 感元件，该敏感元件由一个很小的惯性质量块和一个挠性元件 组成，该挠性元件位于两块极板之间。随着质量块在加速度作 用下发生偏转，这些极板之间的电容也会发生变化；包含了交 流激励和同步调制解调电路的加速度传感器内部信号调节器输 出与应用加速度成正比的模拟输出信号，单端信号输出值为 2.5±2V, 由单端稳压电源提供5.5~30Vdc的供电。敏感元件和电 路组件一起封装在小型轻巧，线缆一体输出的氧化铝外壳中， 信号地与测试对象绝缘隔离。813-5变容式MEMS加速度传感器的安装可以通过 粘合剂安装也可以用M3的公制螺丝安装。此产品广泛应用于需 要精确测量的研发领域，同时产品封装也适合在严苛的环境中 使用。