瑞士VAT UHV系列超高真空阀门
一、UHV系列核心特性
1. 产品定位
类型：全金属密封超高真空阀（Ultra-High Vacuum Valve）
适用真空范围：
标准版：10⁻⁹ ~ 10⁻¹² mbar
定制版：可达10⁻¹³ mbar（特殊烘烤设计）
核心优势：
零泄漏：金属密封漏率 <1×10⁻¹² mbar="">（He检漏）。
耐高温烘烤：阀体可承受 250°C~300°C 烘烤（标准版）/ 450°C（定制版）。
无有机材料：全金属结构，避免放气污染。
2. 设计
双密封系统：主密封（金属刀口） + 次级密封（弹性补偿）。
低扭矩驱动：磁耦合或波纹管传动，避免轴封泄漏。
材料纯度：316L不锈钢（EP级电解抛光），表面粗糙度<0.8μm。<>
二、型号分类与技术参数
1. 型号命名规则（以VAT UHV 24为例）
| 代码段 | 含义 |
|---|---|
| UHV | 系列名称（超高真空阀） |
| 24 | 通径尺寸（24=DN40，54=DN100） |
| 后缀 | 驱动方式（如-M=手动，-A=气动） |
2. 子型号对比表
| 型号 | 通径 | 法兰类型 | 驱动方式 | 漏率 | 烘烤温度 | 价格范围（￥） |
|---|---|---|---|---|---|---|
| VAT UHV 24-A | DN40 | CF-F | 气动 | <1×10⁻¹² mbar=""> | 250°C | 50,000~80,000 |
| VAT UHV 54-M | DN100 | ISO-K | 手动 | <1×10⁻¹² mbar=""> | 300°C | 120,000~180,000 |
| VAT UHV 10-E | DN16 | ICF | 电动 | <1×10⁻¹³ mbar=""> | 450°C（定制） | 200,000+ |
3. 详细技术参数
| 参数 | 标准值/范围 |
|---|---|
| 真空性能 | |
| - 漏率 | <1×10⁻¹² mbar=""> |
| - 耐压差 | 10⁻¹² mbar ~ 大气压 |
| 机械性能 | |
| - 阀体材质 | 316L不锈钢（EP级） |
| - 密封材质 | 铜/铝镀金或无氧铜 |
| - 循环寿命 | >50,000次（金属密封） |
| 电气/气动参数 | |
| - 驱动方式 | 气动（0.5~0.7MPa）/电动（24V DC） |
| - 响应时间 | 气动版≤1s，电动版≤5s |
| 环境适应性 | |
| - 烘烤温度 | 标准250°C，定制450°C |
| - 耐腐蚀性 | 兼容H₂、O₂、等离子体（需选配镀层） |
三、典型应用场景
1. 半导体制造
应用：
刻蚀机/离子注入机的腔体隔离（防颗粒污染）。
分子束外延（MBE）系统的超高真空维持。
型号推荐：
VAT UHV 24-A（DN40，气动快速隔离）。
2. 科研装置
应用：
同步辐射光源的束线控制。
核聚变装置（如托卡马克）的真空分段。
型号推荐：
VAT UHV 54-M（DN100，手动可靠密封）。
3. 航天与镀膜
应用：
卫星推进剂储罐的真空密封测试。
光学镀膜机的腔体压力调节。
型号推荐：
VAT UHV 10-E（DN16，电动精密控制）。
四、选型与安装要点
1. 选型关键因素
通径需求：根据流量计算（如DN40对应约20 L/s @10⁻⁶ mbar）。
驱动方式：
气动：快速开关（适合安全隔离）。
电动：可集成自动化控制（如PLC）。
法兰标准：
CF法兰：超高真空（金属密封）。
ICF法兰：极小漏率需求（如10⁻¹³ mbar）。
2. 安装规范
清洁要求：
安装前用丙酮/酒精清洁法兰面（戴无尘手套）。
扭矩控制：
CF法兰螺栓需按对角线分步拧紧（DN40推荐8~10 Nm）。
烘烤建议：
以10°C/min速率升温至250°C，保温48小时。
五、维护与故障处理
| 故障现象 | 可能原因 | 解决方案 |
|---|---|---|
| 漏率超标 | 密封面划伤/颗粒污染 | 重新抛光密封面或更换阀座 |
| 阀门卡滞 | 高温变形/润滑不足 | 使用高温润滑脂（如Apiezon N） |
| 驱动失效 | 电磁阀故障（气动版） | 检查气源压力（≥0.5MPa） |
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