JJF(苏)261-2023光学显微干涉式三维表面形貌测量仪校准规范

超光滑样板

参数：表面粗糙度值 (Sa)1nm，

校准项目：测量噪声；

一维栅格/二维栅格

栅格平均间距(5~10)um Urel≦0.5%,k=2；

栅格平均间距(5~20)um Urel≦1%,k=2;

垂直角度 MPE:±0.1°

XY 方向长度测量误差、重复性、正交误差；

光学显微干涉式三维表面形貌测量是一种利用光学干涉原理对样品表面三维形貌进行精密测量的仪器，在样品表面垂直方向上可以达到亚纳米级的分辨力，广泛应用于材料、半导体等领域。大多数情况下，测量仪使用白光作为光源，故也被称作白光干涉仪。

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