JJF2160-2024激光共聚焦显微镜校准规范
标准球
货号：AUBAT-G2160
形状误差≦0.3μm
直径(0.3-5)mm
一维标准立体栅格
货号：AUBAT-YW1000
栅格平均间距(5~20)μm U≦0.5%，k=2；
栅格平均间距(500~5000)nm U≦1%，k=2；
二维标准立体栅格
货号：AUBAT-RW2000
栅格平均间距20μm，U≦0.5%，k=2；
栅格平均间距10μm，U≦0.5%，k=2；
标准台阶
AUBAT-NT100
AUBAT-AT200
标准台阶高度/沟槽深度(200~10000)nm，U≦1%,k=2；
计量特性
1 水平方向长度测量误差：不超过±5%
2 垂直方向长度测量误差：不超过±5%
3 水平方向长度测量重复性：不超过2%
4 垂直方向长度测量重复性：不超过2%
5 水平方向正交误差：不超过1%
6 畸变：不超过±10%
7 *大可测倾角:20°~80°
8 水平方向拼接误差:不超过10%
9 垂直方向拼接误差：不超过10%
10 载物台定位误差：不超过0.05mm
标准球
货号：AUBAT-G2160
形状误差≦0.3μm
直径(0.3-5)mm
一维标准立体栅格
货号：AUBAT-YW1000
栅格平均间距(5~20)μm U≦0.5%，k=2；
栅格平均间距(500~5000)nm U≦1%，k=2；
二维标准立体栅格
货号：AUBAT-RW2000
栅格平均间距20μm，U≦0.5%，k=2；
栅格平均间距10μm，U≦0.5%，k=2；
标准台阶
AUBAT-NT100
标准台阶高度/沟槽深度(200~10000)nm，U≦1%,k=2；
AUBAT-AT200
标准台阶高度/沟槽深度(200~10000)nm，U≦1%,k=2；
本规范适用于激光共聚焦显微镜的校准，其他基于共聚焦原理的显微镜校准也可参照本规范。激光共聚焦显微镜利用共轭点照明、点探测原理，通过激光逐点照明扫描和空间针孔调制技术获取光学层析图像，从而得到被测物体二维图像或三维表面形貌参数的仪器。共聚焦显微镜具有多种照明约束和探测形式，被广泛应用于材料科学、微纳米加工、半导体器件和生命科学等领域。
计量特性
1 水平方向长度测量误差：不超过±5%
2 垂直方向长度测量误差：不超过±5%
3 水平方向长度测量重复性：不超过2%
4 垂直方向长度测量重复性：不超过2%
5 水平方向正交误差：不超过1%
6 畸变：不超过±10%
7 *大可测倾角:20°~80°
8 水平方向拼接误差:不超过10%
9 垂直方向拼接误差：不超过10%
10 载物台定位误差：不超过0.05mm
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