JJG818-2018磁性、电涡流式覆层厚度测量仪检定规程 

Aubat-FC1000检定装置：

1、厚度片（板）组

测量重复性、示值误差、示值稳定性，电源电压变化对仪器示值的影响。

2、基体（磁性或非磁性）、陶瓷与金属量块

表面粗糙度Ra≤0.2 μm、平面度≤1μm、其尺寸≥1.3Φ;

范围

本规程适用于磁性(磁阻式和磁力式)覆层厚度测量仪和电涡流式覆层厚度测量仪/厚度仪的**检定、后续检定和使用中检查。测厚仪中的磁性覆层厚度测量仪一般用于测量磁性金属基体上的非磁性覆盖层的厚度;电涡流式覆层厚度测量仪一般用于测量非磁性金属基体上的非导电覆盖层的厚度。测厚仪按数值显示方式可分为数字式和指针式两大类，测量范围一般为(0~1 250)μm，*大可测至 30 mm，分辨力*高可达 0.1 μm。

检定方法：

1. 测量重复性

选择测厚仪的*小量程挡，在基体工作面位置附近放置一个数值大于 2/3 量程(无量程挡的测厚仪选择在*小分辨力的量程 2/3 以上范围) 的厚度片，在同一位置连续测量 9 次，取 9 次示值中的*大值与*小值之差的 1/3 作为测量重复性。

2. 示值误差

按使用说明对测厚仪进行零点调整。在测厚仪的每一量程内大致均匀分布三至五点作为受检点 (含*接近量程上、下限的点)，选取相应厚度和准确度级别的厚度片 (对磁力式覆层厚度测量仪需选用厚度板) 依次测量，测量时使测厚仪测头尽量垂直对准厚度片的中间位置(对磁力式覆层厚度测量仪需要水平放置在厚度板上，使测量磁钢自动吸附在厚度板的中间位置)，每个受检点连续测量 5 次，取平均值作为测厚仪在该点的示值。

3. 示值稳定性

对交流供电的测厚仪选择测厚仪的*小量程挡，在基体工作面位置附近放置一个数值大于 1/2 量程的厚度片，将测头装在检定台上垂直压向厚度片并使其固定。记下**次读数，以后每间隔 15 min 记一次读数，连续记录 1 h，取5 次读数中的*大值与*小值之差作为测量结果。

4. 电源电压变化对仪器示值的影响

对交流电压供电的测厚仪，选择测厚仪的*小量程挡，在基体工作面位置附近放置一个数值大于 1/2 量程的厚度片 (单一量程的测厚仪选择在*小分辨力的量程 2/3以上范围)，将可调式直流稳压电源或可调式交流变压器串接在测厚仪的电源端，并用电压表监视。按测厚仪要求调整电源电压至测厚仪许可的额定电压的一10%处，测量厚度片 5 次，取其平均值作为该点在该电压下的示值，再分别将电源电压调整到测厚仪额定工作电压和测厚仪许可的额定电压的+10%处，各测量厚度片 5 次，分别取其平均值作为该点在该电压下的示值，各点示值误差按公式处理。

5. 厚度片

用数显电感式测微仪 (选择 1 N 测力的测头，不大于 50 um 的厚度片选用平面测头) 和三等量块或光栅测微仪等，在平面工作台上用比较法测量或用直接法测量。直接法测量:先将数显电感式测微仪或光栅测微仪等对零，再将被测的厚度片放在平面工作台上，在距边缘 5 mm 的测量区域内均匀分布 5 个点测量，取中心点 5 次示值的平均值作为厚度片的实际值。

对于没有与厚度片厚度标称值相差 20 um 以内量块的情况，可以使用量块组合测量。例如测量标称值为 405 um 的厚度片，先用 1.4 mm 的量块，让数显式电感测微仪对零，记下此时的数值，将 1 mm 的量块垫在工作台上，将厚度片放置在 1 mm 量块上用数显式电感测微仪测量。