自动椭圆偏振测厚仪 型号：TPY-2
自动椭圆偏振测厚仪
仪器介绍
采用消光法自动控制，自动测量薄膜厚度和折射率，具有精度和灵敏度更高等特点。光源采用氦氖激光器，功率稳定、波长精度高。仪器采用USB接口与电脑连接，配套软件功能齐全，具有多样数据采集及处理方式，适用于不同用户的需要。
规格参数
测量范围薄膜厚度范围：1nm-300nm；折射率范围：1-10
测量厚度**小示值（nm）≤1
偏振器方位角范围0°- 180°读取分辨率为0.05°
偏振器步进角0.014°/步
测量膜厚（nm）±1
折射率重复性精度±0.01
度盘刻度每格1度
仪器测量精度（nm）±0.5（薄膜厚度在10-100nm时）
入射角调节范围20°～90°精度为0.05°
入射光波长（nm）632.8
光学中心高（mm）80
允许样品尺寸（mm）φ10-φ140（或任意形状），厚度≤15
外形尺寸（mm）590*390*320
主机重量（kg）28
仪器测量精度（nm）±0.5（薄膜厚度在10-100nm时）
入射角调节范围20°～90°精度为0.05°
入射光波长（nm）632.8
光学中心高（mm）80
允许样品尺寸（mm）φ10-φ140（或任意形状），厚度≤15
外形尺寸（mm）590*390*320
主机重量（kg）28 配置表
型号 | 名称 | 数量 | |
基本配置 | TPY-2 | 椭圆偏振测厚仪主机 | 1台 |
TPY-2 | 主机电控箱 | 1套 | |
二氧化硅膜样片 | 1片 | ||
TPY-2 | 椭圆偏振测厚仪**用软件 | 1套 | |
需另配 | 计算机及打印机 | 1套 |
所有评论仅代表网友意见，与本站立场无关。