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【SDE系列】KASHIYAMA真空泵-大排量

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  • 更新时间：2025-04-27 13:40:29
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苛刻工艺的标准型1.可达到200kL/min.2.大尺寸晶圆和FPD使用

详情介绍

苛刻工艺的标准型

1.可达到200kL/min.

2.大尺寸晶圆和FPD使用。

3.经得起各种工艺的考验


*1) 也可提供小于20000L/min的小型泵 　

*2) 包装尺寸因规格而异

*3) 关于国际标准的遵守情况，请联系我们产品规格和名称如有变更，恕不另行通知


S-P曲线


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