真空微型探针台应用与半导体测试变 温真空腔探针台系统方案：高低温真空腔探针系统主要用于为被测芯片提供一个低温或者高温的变温测量环境，以便测量分析温度变化时芯片性能参数的变化。腔体内被测芯片在真空环境中。

   精巧型真空腔体测试腔主要用于气体敏感材料或其他对环境敏感性材料中的电信号测试。测试腔体内部装有不锈钢加热承载台，台面为φ30，台面高可升温到高400℃。台面四周装有微型3轴可移动钨钢探针，特别适合微小未封装的叉指电极等传感器测试。

    真空微型探针台应用与半导体测试 低温真空探针台是一款为晶片、器件和材料（薄膜、纳米、石墨烯、电子材料、超导材料、铁电材料等）提供真空和低温测试条件下进行非破坏性的电学表征和测量平台。CPS系列低温真空探针台可以对材料或器件进行电学特性测量、光电特性测量、参数测量、高阻测量、DC测量、RF测量和微波特性测量，广泛应用于半导体工业（芯片、晶圆片、封装器件）、MEMS、超导、电子学、物理学和材料学等领域。为了提高系统的实用性，系统还可以提供3.2K的温度扩展选件、振动隔离装置、LN2杜瓦、高放大倍数的显微镜、分子泵机组、热辐射屏的温度控制装置、探针臂的光纤电缆、光学样品架等选件。