半导体/集成电路/微型真空探针台KT-Z165M4LT精巧型真空腔体测试腔主要用于气体敏感材料或其他对环境敏感性材料中的电信号测试。测试腔体内部装有不锈钢加热承载台，台面为φ30，台面可升温到400℃。台面四周装有微型3轴可移动钨钢探针，特别适合微小未封装的叉指电极等传感器测试。

               半导体/集成电路/微型真空探针台该腔体设计有进气口和抽真空接口其真空度用机械泵可达＜5Pa分子泵可达＜-3Pa。真空信号连接处使用高级真空电极信号接头，保证气密性及抗干扰性能。使用时将需将待检测的器件方在加热台面，探针处由3轴可移动探针手动调节移动至被测试器件的引脚处，外部信号线连接测试仪器来测试电学信号。

 目前公司已研发生产产品十多个系列几十款产品，产品囊括实验电炉   CVD供气系统   等离子清洗机   小型离子溅射仪   小型蒸镀仪  石英管真空封口   半导体等。 主要适用于科研院校及工矿企业在新材料、新能源等领域物理特性及化学特性的研究，广销于各大院校，及材料研究所。

    公司与国内高校，科研院所有多层次的合作关系，建有开放实验室，相关领域的教授、工程师、博士参与公司产品的研究和开发。我们秉承公司的发展理念，依靠严谨的技术研发能力，科学合理的生产工艺，精益求精的制造要求，全心全意做好产品质量和服务工作，科探仪器时刻怀着一颗真诚的心期待与您的合作。