KT-Z1650CVD是一款小型台式蒸发功率可控蒸发镀膜仪离子溅射仪，仪器虽小功能齐全，配备有电压 电流反馈,样品台旋转，样品高度调节，及电动挡板功能。通过定时调节预热功率及蒸发功率，可对大部分金属进行均匀蒸发沉积，真空腔室为透明石英玻璃减少样品污染，样品台可旋转以获得更均匀的薄膜，可制备各种金属薄膜和有机物薄膜。离子溅射仪
参数
设备名称 | 小型溅射仪 | 小型蒸镀仪 |
控制方式 | 7寸人机界面 手动 自动模式切换控制 | 7寸人机界面 手动 自动模式切换控制 |
工作电源 | 直流溅射电源 | 直流热蒸发电源 |
镀膜功能 | 0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序 | 0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序 |
功率 | ≤1000W | ≤1500W |
输出电压电流 | 电压≤1000V 电流≤1A | 电压≤12V 电流≤100A |
真空 | 机械泵 ≤5Pa（5分钟） 分子泵≤5*10^-3Pa | |
腔体真空 | ≤30Pa | |
挡板类型 | 电控 | |
真空腔室 | 石英+不锈钢腔体φ160mm x 170mm | 石英腔体φ160mm x 160mm |
样品台 | 可旋转φ62 （可安装φ50基底） | |
样品台转速 | 8转/分钟 | |
样品溅射源调节距离 | 40-105mm | 70-140mm |
蒸发坩埚容积 | 3ML | |
蒸发温度调节 | ≤1600℃ | |
真空测量 | 皮拉尼真空计（已安装 测量范围10E5Pa 1E-1Pa） | |
预留真空接口 | KF25抽气口 KF16放气口 6mm卡套进气口 | |
可选配扩展 | 1 膜厚在线测试 2 分子泵 | |
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