(1) 类型： CCI 干涉(相干相关干涉)
(2) 分辨率： 0.1 A
(3) 测量点数： 1,048,576 ( 1024 x 1024 点阵 )
更详细参数和有关应用问题请垂询办事处产品负责人。

 

主要特点

•的相干相关算法
•0.01nm分辨率
•10-20秒测量时间
•RMS重复性：0.03A

仪器介绍

TalysurfCCI三维非接触形貌仪采用CCI(技术的相干相关算法)干涉原理，可高精度测量表面形貌、表面粗糙度及关键尺寸，并计算关键部位的面积和体积。主要应用于数据存储器件，半导体器件，光学加工以及MEMS/MOEMS技术以及材料分析领域。

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