Aera FC-P2000质量流量控制器
| Aera FC-P2000 系列 质量流量控制器 FC-P2000 集压式 MFC 能够在广泛的输入压力范围内,准确控制较低的气体流量。这使其在安全供给系统 (SDS) 应用中非常有效。在这类应用中,气体来源压力会随着气体的消耗而缓慢下降。 FC-P2000 MFC 能够控制2-4 sccm(N2 当量)、低至5 Torr 气缸压力的气体流量,从而能提供高达95%的气缸气体使用率。 优势: 精确度高 具有成本效益 易于替换现有的 SDS MFC 减少堵塞 特点: 因素喷嘴技术 |
| FC-P2000 集压式 MFC 能够在广泛的输入压力范围内,准确控制较低的气体流量。这使其在安全供给系统 (SDS) 应用中非常有效。在这类应用中,气体来源压力会随着气体的消耗而缓慢下降。 FC-P2000 MFC 能够控制2-4 sccm(N2 当量)、低至5 Torr 气缸压力的气体流量,从而能提供高达95%的气缸气体使用率。 |
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