简易型微量金属污染物质回收装置（SC系列）

与电脑连接，制作多样化的回收图案，从硅芯片的表面和侧面（斜面部）回收（取样）微量金属污染。

●由于不需要太多的外部资源，也不占用任何空间，因此设备的部署非常简单。

●由于是机械作业，因此不需要操作人员熟练，任何人都可以轻松取样。

●由于装置侧自动实施采样用药液的供给和保持具的移动，因此与SC-2000相比，可减少作业人员造成的污染。

●由于不需要太多的外部资源，也不占用任何空间，因此设备的部署非常简单。

●由于是机械作业，因此不需要操作人员熟练，任何人都可以轻松取样。