URE-2000/30 型紫外单面光刻机

1．技术特征

。高倍率双目双视场显微镜和 22 英寸宽屏液晶显示同时观察对准过程，并提供 USB 输出；既满足高精度对准，又可用于检测曝光结果，且曝光结果和方便存储

。采用倒置式照明，更换汞灯更方便，散热和防漏光效果更好

。对准位和曝光位双工位工作，双工位自动切换

。采用嵌入式计算机+触摸屏操作，操作更方便，更时尚

。上下片、版十分方便，自动化程度高，操作简便。对高校教学科研（可靠性好，演示方便）及工厂(效率高)尤为适宜

2．技术参数

。曝光面积：100mm×100mm（可升级为 6 英寸）

。曝光波长：365nm

。分辨力：≤1 μm（胶厚 1.5 μm 的正胶）

。对准精度：±0.6 μm

。显微镜扫描台运动范围：X：10mm;Y:10mm

。掩模尺寸：2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸

。样片尺寸：直径Ф 15mm-- Ф 100mm（各种不规则片）厚度 0.1mm--6mm

。曝光方式：定时（ 方式）和定剂量

。具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光，以及接近式曝光四种功能30

。照明不均匀性： 3%（Ф 100mm 范围）

。双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过 CCD+显示器对准，光学合像，光学 倍数 400 倍，光学+电子放大 800 倍

物镜三对：4 倍、10 倍、20 倍

目镜三对：10 倍、16 倍、20 倍

。曝光对准双工位自动切换

。调平接触压力通过传感器保证重复

。数字设定对准间隙和间隙

。具备压印模块接口，也具备接近模块接口

。掩模相对于样片运动行程：

X: ± 5mm; Y: ± 5mm; Thelta: ± 6º

。 焦厚：400 μm（SU8 胶，用户提供检测条件）

。光源平行性：3 º

。曝光能量密度 gt;25mW/cm2,照明面温度<35 ºC

。单层曝光一键完成

。采用球气浮+三爪找平

。汞灯功率：350W（直流，进口）

3．外形尺寸：1400mm（长）x900mm(宽) x1500mm（高）

4．配置

（1）曝光头

。冷光椭球镜

。350W 进口直流高压汞灯(德国欧司朗)

。XYZ 汞灯调节台

。冷却风扇

。光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜 1、准直镜镜 2、蝇眼透镜组（79 个透镜）、i 线滤光片、场镜、冷光反射镜 1、反射镜 2

（2）对准工件台

。光刻机底座

。工位切换台（气缸）

。掩模样片整体运动台

。掩模样片相对运动台

。转动台

。样片调平机构,三点自动完成31

。样片调焦机构，电机自动调

。基片抽拉式上下机构

。承片台 4 个：Ф 15mm 、Ф 40mm、Ф 60mm、Ф 100mm（可按用户要求增减）

。掩模夹 4 个：2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸（可按用户要求增减）

。样片抽拉式上下机构

（3）对准显微镜

。光源、 电源

。双目双视场对准显微镜主体

。目镜 3 对（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 个）

。物镜 3 对（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 个）

。CCD 对准系统，22 寸液晶显示器

（4）电控系统

。汞灯触发电源(350W 直流汞灯)

。单片机控制系统

。控制面板

。控制柜桌

（5）气动系统

。气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等

。电磁阀驱动

。气动仪表

（6）其他附件

。真空泵一台

。空压机一台

。配套接口管道