采用了高精度的直线丝杠,其实现了测绘仪器,检测系统,光学设备,半导体,以及液晶制造设备
所需的微米以及亚微米级精度的定位。
※1:因执行元件中组装的Harmonic Drive的减速比不同而有所区别。
※2:工作台使用骏河精机(株)制造的微型组件PG系列。
※3:表示输出轴引出后的状态。
深圳市聪熙科技有限公司
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