MKS GE50A橡胶密封数字质量流量控制器,满量程范围从5sccm–50slm,精度为设定值的±1%、相应速度快于700毫秒、不同气体及量程间自由切换。吋宽度(GM51A除外)。EtherNet用户通讯口方便地用于设置和诊断。各种模拟(0-5V或4-20mA)和数字(RS-485、DeviceNet、Profibus、EtherCAT、Modbus)通讯接口可选。
MKS GE50A通用橡胶密封数字质量流量控制器精度为设定值的± 1%,相应速度快于500毫秒,不同气体及量程间自由切换。通过一个*的数字算法,实现了精度的实时流量控制。与通常基于PID的数字MFC相比,它由于能实现工艺气体流量的实时控制而极大提供了控制精度,具有更好的工艺腔室匹配性。
基于EtherNet 用户通讯口网络的游览界面使客户可以实时地进行控制器的设置和故障排除,从而减少了对“"MFC的替换并且无需中断工艺气体输送。
GE50A013502R6V010(代表的是气体介质是氮气,流量是500sccm,配件法兰接口是Swagelok 4VCR male,通讯接口是DeviceNet
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