应用行业：
- 半导体、太阳能、液晶面板制造设备
- 纯介质和特殊气体系统压力测星
应用流体：
- l 超高纯及有毒等特种电子气体
特点：
- l 可测真空压力，量程范围：0-7MPa
- l 测量精度可达±0.25% FS BSL；
- l 工作温度范围：-40~8（FC；
- l 硅压阻敏感元件，高稳定性，高可靠性；
- l 全316L不锈钢结构
- l 压力接头脱脂清洗，产品真空包装；
- l 快速响应时间，上电时间小于30ms;
- l 所有接液部分表面电抛光处理，符合EP Grade5；
- l 所有接液部分表面粗糙度不超过Ra 0.2；
性能指标
量程 0-7MPa表压之间任意选择 0-7MPa顚之间任誕择 *大过压 4xFS (2OMpa Max) 封堵压力 6xFS (2OMpa Max) 精度等级 ±0.25%FS BSL （BSL*佳拟合直线） 温度影响 ±15%FSTHB （TEB:温度误差带） 材质 316L不锈钢 供电电压 7~32Vdc 输出形式 4~20mA;V 工作温度范围 -40 ~ +80 C 木卜偿温度范围 -20 ~ +80C 频率响应 3.5KHZ 上电时间 <30ms 绝缘电阻 >100MQ@500VDC 长期稳定性 ±0.1%FS 每年 压力介质 与316L不锈钢兼容的流体 零点允许误差 ±1.0%FS 满量程允许误差 ±1.0%FS
电气接口性能
编号 描述 *大工作温度范围℃ IP等级 零、满调整 7 DIN43650.可拆卸 -40~+80 65 是 G M12*l四针 -40~+80 65 否
电气连接
| 接头类型 | 选项编号 | 电子产品选项 I | ||
| 4 - 20 mA | 电压1 | |||
| DIN, MicroDIN | 7,D | 1 | +ve供电 | +ve供电 |
| 2 | -ve供电 | 0V共地 | ||
| 3 | - | +ve输出 | ||
| E | 外壳 | 外壳 | ||
| M12*l四针 | G | 1 | +ve供电 | +ve供电 |
| 2 | - | +ve输出 | ||
| 3 | -ve供电 | 0V共地 | ||
| 4 | 外壳 | 外壳 | ||
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