适应范围广、搭配灵活
对应多种尺寸组合
我们推出了200 mm专用型、200 mm/150 mm兼用型和150 mm型（对应小于150 mm的晶圆）的3种型号。除此以外，您还可以根据检查模式，选用微观检查专用型号"L型"或微观•宏观检查兼用型号"LMB型"。
晶圆尺寸•厚度对应表
薄片检查
对应薄片制造厂家的需求，AL120-LMB-90搭载的新型搬送手臂的设计可以搬运整盒25枚90 μm的极薄晶圆。
高度实用性
进一步优化的宏观检查
 背面宏观360゜旋转 | •宏观检查手臂可以360゜旋转，更为容易发现伤痕和微尘。 • 利用360゜旋转功能，可以目视检查整个晶圆（包括边缘）。此外，在表面宏观检查中，使用操纵杆可随意将晶圆倾斜30゜进行观察。 |
操作便捷
• 为了满足各种常规检查的要求，AL120可以登记多达10个检查程序。使用这一功能可以记录特定的卡盒、晶圆和传输速度。快速菜单选择按钮则可以让操作员立刻切换不同程序。
•晶圆搬送机的菜单设置和设置参数都会在新型的LCD显示器上显示。 使用RECALL按钮可以显示检查时登记的有缺陷的对应SLOT，便于操作者再次确认。
•AL120使用非接触光学定位、查找和对齐缺口／平面，可以减少晶圆和设备之间的接触，提高晶圆的清洁度。
高度可靠性
优先考虑晶圆和操作者的安全
•为了能够安全的安装晶圆，采用了在装置正面放置片盒的设计。
•在安全性和人机工学上通过了SEMI S2/S8检测，同时，在环境保护方面遵守了RoHS指令。
坚固、耐用的显微镜底座
AL120搭载奥林巴斯MX专业晶圆检查显微镜系列，通过各种观测方法，包括：明视场、暗视场、微分干涉（DIC）、近IR（近红外线）和DUV（深紫外线），实现了的图像分辨率和清晰度。电动物镜转换器和孔径光阑相互锁定，可以优化各物镜的照明和对比度。如果特别订制，AL120还可以应用到其他型号的显微镜上。
人机工程学设计的载物台
•手动快速释放真空载物台可以提高操作员的舒适度和工作效率，标准功能为XY轴控制和晶圆旋转功能。
•可通过操纵杆或预编程的程序控制电动载物台，进一步将检查过程自动化。只需一键便可驱动载物台返回或离开load/unload位置及原点位置。
| 晶圆搬送机 AL120 规格 | ||||||||
| 200 mm专用型 | 200 mm/150 mm 兼用型 | 150 mm型 | ||||||
| AL120- LMB8- 90 | AL120- LMB86- 180 | AL120- L86- 180 | AL120- LMB86 | AL120- L86 | AL120- LMB6- 150 | AL120- L6- 150 | ||
| 晶圆尺寸（SEMI规格） | 200mm | 200mm / 150mm | 150mm / 125mm / 100mm | |||||
| 晶圆小厚度 | 90µm | 180µm | 400µm | 150µm | ||||
| 片盒类型* | SEMI规格：25（26）个slot | |||||||
| 片盒数 | 1 | |||||||
| 检查模式 | 全部检查／抽样检查 | |||||||
| 搬运顺序 | 微观检查（显微镜检查） | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ |
| 表面宏观检查 | ○ | ○ | ○ | ○ | ||||
| 背面宏观检查 | ○ | ○ | ○ | ○ | ||||
| 二次背面宏观检查 | ○ | ○ | ○ | ○ | ||||
| 晶圆定位（每 90º） | 非接触（定位平边／V型槽） | 非接触（定位平边） | ||||||
| 适配显微镜型号 | 奥林巴斯半导体检查显微镜 MX61 | |||||||
| 尺寸（mm） | 主机部分：640 (W) × 620 (D) × 378 (H)，配备显微镜时：1100 (W) × 620 (D) × 378 (H) | 主机部分：570 (W) × 620 (D) × 400 (H)，配备显微镜时：980 (W) × 620 (D) × 400 (H) | ||||||
| 重量（kg）（仅主机部分） | 44 | 44 | 41 | 44 | 41 | 40 | 37 | |
| 使用环境（电源／真空） | AC100 V～120 V、1 A或AC220 V～240 V、0.5 A 50/60 Hz、-67～-80 kPa、20 Liter/min以上 | |||||||
* 多可登记10种片盒
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