在传统的直拉法生产单晶材料时，生产设备存在自动化程度低，投料量少、设备功能单元布局不合理等一系列问题，从而导致单晶生产中人工劳动强度大、单位产能与品质低，成本高等一系列问题。随着社会的进步，市场对新一代单晶生产设备转向自动化程度高、投料量大、单位时间产能高、能耗低等方面。针对这些需求，炉压自动控制技术、CCD非接触测量技术、炉体恒温控制技术的发展的进一步要求也是自动化；大炉体，高副室，旋板阀，水冷屏等的技术改进，是提高投料量与产能的必要方式。当投料量与产能达到一定程度时，副室的高度会进一步增加，因此坩埚托盘与提拉头的动平衡问题会日渐突出，如何保证两大低频非规则运动部件的动平衡将会是一大挑战。

NVT-HG型单晶炉可实现生长过程的全自动控制，炉压全自动控制，采用CCD测量技术，此外还以其大装炉量、高生产效率、低能量消耗，为客户带来额外利益。

应用领域

• 直拉法晶体提纯

• 直拉法多晶生长

• 直拉法单晶生长

• 目前主要用于单晶硅棒的生产制造

适用工艺

炉压自动控制、CCD非接触测量、自动旋板阀、下排气流线型管路等

产品优势

• 单台2吨以上的月产能，实现单晶硅棒量产。
• 合理的炉体布局，使得炉子能耗同比下降10%。
• 大尺寸的主室为大投料量留下了空间。
• CCD系统保障了晶体的自动引放与等径，为以后升级预备了空间。
• 自动旋板阀的应用大大提高了副室的可应用长度，自动开旋大大减少了操作人员的劳动强度。
• 下排气的流线型设计，为硅料页面提供稳定的氩气氛围，大大提高液面与硅棒生产的稳定性。
• 在的漏水等情况发生时，炉盖泄压设计防止了炉体爆炸，将高压泄 放。
• 自动炉压系统快速调整炉压，实现了炉体自动压力恒压，解决了人工调整炉压的滞后性和准确性等问题。
• 工艺菜单为客户提供了各类工艺设置储存，客户可以按照自主工艺自动生产晶体。
• 单机版数据工作站按每分钟储存一次的速率快速存储数条关键数据，为 用户实现工艺参数追溯。